Die Beschwerde gegen die Nichtzulassung der Revision bleibt erfolglos. Sie ist teilweise bereits unzulässig; im Übrigen ist sie unbegründet.
1. Das Berufungsgericht hat das Verfahren eingestellt, soweit die Kläger ihre Klage zurückgenommen haben. Soweit sich die Beschwerde gegen diesen Ausspruch richtet, ist sie nicht statthaft. Denn die Entscheidung, das Verfahren wegen Rücknahme der Klage (ganz oder teilweise) einzustellen, kann gemäß § 132 Abs. 1 VwGO nicht zulässiger Gegenstand eines Revisionsverfahrens sein. Das gilt auch dann, wenn das Verfahren nicht durch Beschluss, sondern - wie hier - innerhalb eines Urteils (teilweise) eingestellt worden ist. Auch in diesem Fall kommt ein Revisionsverfahren nur noch wegen des nicht eingestellten Teils des Verfahrens in Betracht. Darüber hinaus sind die Kläger durch den Ausspruch, dass das Verfahren (teilweise) eingestellt werde, auch nicht beschwert. Denn sie erstreben nicht die Fortsetzung des Verfahrens, sondern machen im Gegenteil geltend, dass das Verfahren insoweit schon früher beendet gewesen sei. Schließlich ist die Beschwerde hinsichtlich der Verfahrenseinstellung auch gemäß § 557 Abs. 2 ZPO i.V.m. § 173 VwGO unzulässig, weil die Einstellung des Verfahrens gemäß § 92 Abs. 3 Satz 2 VwGO unanfechtbar ist. In dem angestrebten Revisionsverfahren könnte deshalb nicht geklärt werden, ob die Kläger wegen der Bauvorhaben, hinsichtlich derer das Verfahren eingestellt worden ist, überhaupt eine Berufung eingelegt haben.
Beschwert sind die Kläger zwar durch die Entscheidung über die Kosten für den Teil des Verfahrens, den das Berufungsgericht eingestellt hat. Aber auch insoweit ist die Entscheidung gemäß § 92 Abs. 3 Satz 2 VwGO unanfechtbar.
2. Unzulässig ist die Beschwerde auch, soweit sie sich gegen die - wie die Beschwerde meint - Abweisung der Klage durch das Berufungsgericht hinsichtlich der Bauvoranfrage für vier Parzellen in der nordöstlichen Ecke des Flurstücks 73/23 nahe dem Schulweg richtet. Insoweit fehlt es nämlich an der für ein Rechtsmittelverfahren erforderlichen materiellen Beschwer, weil das Berufungsurteil die in diesem Punkt rechtskräftige Entscheidung des Verwaltungsgerichts weder ändern konnte noch wollte und auch nicht geändert hat.
Allerdings scheint die Klageabweisung die vom Verwaltungsgericht ausgesprochene Verpflichtung einzuschließen, den Klägern einen Bauvorbescheid für die genannten vier Parzellen zu erteilen, wenn man nur den Tenor des Berufungsurteils - isoliert - betrachtet. Das Berufungsgericht hat bei der Abfassung des Tenors offenbar nicht mehr im Blick gehabt, dass das Verwaltungsgericht der Klage bereits zu einem (kleinen) Teil stattgegeben hatte. Gleichwohl verbietet sich die Interpretation der Beschwerde, mit der Abweisung der Klage "im Übrigen" habe das Berufungsgericht auch den der Klage stattgebenden Teil des erstinstanzlichen Urteils aufgehoben. Zur Auslegung gerichtlicher Entscheidungen ist nicht allein auf den Urteilstenor zu schauen; vielmehr sind auch die Entscheidungsgründe zu beachten. In den Entscheidungsgründen des Berufungsurteils ist jedoch zutreffend ausgeführt, dass das Verwaltungsgericht der Klage teilweise stattgegeben hat. Es gibt keinen Anhalt dafür, dass das Berufungsgericht über diesen Teilanspruch, der mit der Berufung der Kläger nicht Gegenstand des Berufungsverfahrens werden konnte und sollte, erneut entscheiden wollte. Das Berufungsurteil kann deshalb nur so verstanden werden, dass es den Verpflichtungsausspruch der ersten Instanz unberührt lässt.
Beschwert sind die Kläger dagegen durch die Änderung der Kostenentscheidung für die erste Instanz. Während sie nach der Entscheidung des Verwaltungsgerichts nur 11/12 der Kosten zu tragen hatten, hat ihnen das Berufungsgericht die Kosten des erstinstanzlichen Verfahrens in vollem Umfang auferlegt. Auch insoweit ist die Beschwerde jedoch nicht statthaft. Dies folgt aus § 158 Abs. 1 VwGO, nach dem die Anfechtung von Kostenentscheidungen unzulässig ist, wenn nicht gegen die Entscheidung in der Hauptsache ein Rechtsmittel eingelegt wird. Der Zweck dieser Bestimmung besteht darin, das Rechtsmittelgericht von der Pflicht freizustellen, ohne Entscheidung zur Hauptsache allein die Kostenentscheidung isoliert überprüfen zu müssen. Die Vorschrift ist deshalb auch dann anzuwenden, wenn sich - wie im vorliegenden Fall - das Rechtsmittel zwar formal gegen die Entscheidung in der Hauptsache richtet, insoweit aber unzulässig ist (BVerwG, Beschluss vom 14. Juni 1999 - BVerwG 4 B 18.99 - NVwZ-RR 1999, 692 - Buchholz 310 § 158 VwGO Nr. 9).
3. Die weiteren Rügen der Beschwerde richten sich gegen die Abweisung der Klage hinsichtlich der vier Einfamilienhäuser auf den Bauflächen A und B durch das Berufungsgericht. Sie sind statthaft, müssen jedoch erfolglos bleiben.
a) Eine Zulassung der Revision wegen der Frage, ob die Darstellungen der baulichen Nutzung in der Planurkunde des Bebauungsplans Nr. 10 eine Bebauung geregelt haben, kommt schon deshalb nicht in Betracht, weil das Berufungsurteil auf den Ausführungen zu dieser Frage nicht beruht. Das Berufungsgericht äußert nur "erhebliche Zweifel" (Berufungsurteil S. 10), lässt die Frage jedoch dahingestellt, weil dieser Teil des Bebauungsplans wegen fehlender Genehmigung nicht wirksam geworden sei. Entgegen der Rechtsauffassung der Beschwerde (Beschwerdebegründung S. 26) wäre das Urteil für die Kläger nicht günstiger ausgefallen, wenn das Berufungsgericht ausdrücklich angenommen hätte, dass die streitige Festsetzung im Bebauungsplan eine verbindliche Bebauungsregelung enthält. Denn auch eine korrekte Ausweisung könnte nach der für die Beurteilung der Kausalität maßgeblichen - und zutreffenden - Rechtsauffassung des Berufungsgerichts nur wirksam sein, wenn der Bebauungsplan bzw. der Teil, in dem sich die Festsetzung befindet, genehmigt worden wäre.
b) Ob die zur fehlenden Genehmigung des Teilplans erhobenen Rügen der Beschwerde für sich genommen durchgreifen, kann offen bleiben. Zwar beruht die Entscheidung des Berufungsgerichts, soweit sie einen Rechtsanspruch der Kläger auf einen Bauvorbescheid auf der Grundlage des Bebauungsplans Nr. 10 verneint, auf der rechtlichen Annahme, dass der hier einschlägige Teil dieses Bebauungsplans nicht genehmigt sei. Das Berufungsgericht führt aber weiter aus, dass der Teilplan selbst dann, wenn er (fiktiv) genehmigt wäre, nicht wirksam wäre, weil diese Genehmigung nicht bekannt gemacht worden sei. In einem solchen Fall, wenn also eine Entscheidung alternativ auf zwei Gründen beruht, kann die Revision nur zugelassen werden, wenn hinsichtlich beider Begründungsteile durchgreifende Zulassungsgründe geltend gemacht werden. Denn wenn bei einer alternativen Begründung die Beschwerde nur hinsichtlich eines der beiden Gründe begründet ist, ändert sich die Entscheidung nicht, weil der zweite Grund die Entscheidung allein trägt. So ist es hier. Wie sogleich auszuführen ist, enthält die Beschwerde hinsichtlich der fehlenden Bekanntmachung keinen durchgreifenden Zulassungsgrund.
c) Das Berufungsgericht führt aus, am 31. Oktober 1980 sei lediglich der vorweg genehmigte Teil des Bebauungsplans Nr. 10 bekannt gemacht worden. Eine fiktive Genehmigung des Bebauungsplans hinsichtlich der Flächen der Kläger sei nie bekannt gemacht worden. Der Mangel der fehlenden Bekanntmachung sei nicht nach § 244 Abs. 1 BauGB (1987) i.V.m. § 214 Abs. 1 BauGB geheilt (Berufungsurteil S. 11 f.). Hiergegen wendet sich die Beschwerde mit sämtlichen Zulassungsgründen des § 132 Abs. 2 Nr. 1 bis 3 VwGO. Ihr Vorbringen rechtfertigt die Zulassung der Revision jedoch nicht.
aa) Mit der Frage, ob eine Heilung nach § 214 Abs. 1 Satz 1 Nr. 3 BauGB auch dann eintritt, wenn sich die Bekanntmachung der Genehmigung eines Bebauungsplans nur auf einen Teil des Bebauungsplans bezieht, nichts desto trotz der mit der Bekanntmachung verfolgte Hinweiszweck auch hinsichtlich des übrigen (fiktiv) genehmigten Teils erreicht wurde (Beschwerdebegründung S. 37), scheint die Beschwerde akzeptieren zu wollen, dass die Beigeladene die fiktive Genehmigung für den Teil des Bebauungsplans, in dem sich die Grundflächen der Kläger befinden, nicht bekannt gemacht hat. Nach den tatsächlichen Feststellungen des Berufungsgerichts ist dies auch richtig; bekannt gemacht worden sei lediglich der vorweg genehmigte Teil des Plans, in dem der Grundbesitz der Kläger nicht liegt. Dass in einem solchen Fall ein nicht durch Zeitablauf unbeachtlich werdender Mangel gegeben ist, bedarf jedoch nicht erst der Klärung in einem Revisionsverfahren. Eine fehlende Bekanntmachung gehört zu den besonders schweren Mängeln eines Planaufstellungsverfahrens, die gemäß § 214 Abs. 1 Satz 1 Nr. 3 BauGB auf Dauer beachtlich bleiben und - wie das Berufungsgericht zutreffend ausführt - nur durch eine nachträgliche Bekanntmachung behoben werden können. Die Formulierung in § 214 Abs. 1 Satz 1 Nr. 3 BauGB, dass der Mangel nur beachtlich sei, wenn der mit der Bekanntmachung verfolgte Hinweiszweck nicht erreicht worden sei, will klarstellen, dass die Wirksamkeit des Bebauungsplans nicht schon dann zu verneinen ist, wenn das Aufstellungsverfahren an irgend einem - noch so kleinen - Bekanntmachungsfehler leidet, sondern dass entscheidend ist, ob die Bekanntmachung den Hinweiszweck erfüllt. Dies setzt aber voraus, dass die Genehmigung des Bebauungsplans bekannt gemacht ist. Gibt es überhaupt keine Bekanntmachung, so kann der Hinweiszweck von vornherein nicht erreicht werden. Dass im vorliegenden Fall die Genehmigung für einen anderen Teil des Bebauungsplans bekannt gemacht worden ist, ändert nichts daran, dass eine Bekanntmachung des für die Grundflächen der Kläger relevanten Teils nach den den Senat bindenden Feststellungen des Berufungsgerichts fehlt.
bb) Auf der Verkennung der tatsächlichen Feststellungen des Berufungsgerichts beruhen auch die Divergenzrügen. Einen Rechtssatz des Inhalts, dass das Fehlen einer Bekanntmachung gemäß § 214 Abs. 1 Satz 1 Nr. 3 BauGB unter bestimmten Umständen unbeachtlich sein könne, hat das Bundesverwaltungsgericht nicht aufgestellt. Ebenso wenig lässt sich den in der Beschwerde zitierten Entscheidungen die Rechtsauffassung des Bundesverwaltungsgerichts entnehmen, dass der Mangel einer fehlenden Bekanntmachung anders als durch eine nachträgliche Bekanntmachung behoben werden kann.
cc) Soweit die Beschwerde mit einer Verfahrensrüge einen Verstoß gegen Beweislastregeln geltend macht, ist sie unzulässig, weil Verstöße gegen Regeln über die Beweislast grundsätzlich nicht Gegenstand einer Verfahrensrüge sein können; denn sie sind als Verletzungen des materiellen Rechts anzusehen (vgl. Kopp/Schenke, VwGO, 13. Aufl. 2003, § 132 Rn. 21). Darüber hinaus ist nicht erkennbar, in welcher Weise es im Zusammenhang mit der Bekanntmachung der Genehmigung des Bebauungsplans auf Beweislastregeln hätte ankommen sollen. Auch die Kläger haben (in tatsächlicher Hinsicht) nicht behauptet, dass die Beigeladene die fiktive Genehmigung bekannt gemacht habe. Vielmehr vertreten sie die Rechtsauffassung, dass eine hinreichende Bekanntmachung dieser Genehmigung in der Bekanntmachung der Vorweggenehmigung gelegen habe. Diese Rechtsauffassung können die Kläger nicht erfolgreich mit einer Verfahrensrüge geltend machen.
d) Das Berufungsurteil verneint einen Bebauungsanspruch der Kläger auf der Grundlage des Bebauungsplans Nr. 2, weil dieser funktionslos geworden sei und weil in ihm die Baufläche A (von den Klägern für ein Wohnhaus vorgesehen) als landwirtschaftliche Fläche und die Baufläche B (für drei Wohnhäuser vorgesehen) als Garagenfläche festgesetzt sei. Gegen beide Begründungen wendet sich die Beschwerde mit der Rüge, das Berufungsgericht habe seine Rechtsauffassung unter Verletzung ihres Anspruchs auf rechtliches Gehör gewonnen.
Auch hiermit kann die Beschwerde nicht durchdringen; denn sie legt nicht in der nach § 133 Abs. 3 Satz 3 VwGO gebotenen Weise dar, dass die Entscheidung des Berufungsgerichts unter Verstoß gegen Art. 103 Abs. 1 GG, § 108 Abs. 2 VwGO ergangen sei. Wird die Verletzung des Anspruchs auf rechtliches Gehör geltend gemacht, so erfordert dies, dass substantiiert angegeben wird, welches Vorbringen den Beschwerdeführern infolge der - angeblichen - Verkürzung des Anspruchs auf rechtliches Gehör abgeschnitten sein soll. Diesen Anforderungen genügt die Beschwerde nicht.
Gegen die Ausführungen des Berufungsgerichts, dass der Bebauungsplan Nr. 2 eine Bebauung der Bauflächen A und B mit Wohnhäusern nicht vorsehe, wendet sich die Beschwerde nur im Hinblick auf die Baufläche B (Beschwerdebegründung S. 53 f.). Aber auch zur Baufläche B trägt sie nur vor, dass auf dem nordöstlichen Teil der Fläche (Fläche B-1) vier zweigeschossige Reihenhäuser vorgesehen seien. Sie beschränkt ihr Vorbringen damit auf einen der drei Bauplätze innerhalb der Baufläche B. Hinsichtlich der beiden anderen von den Klägern geplanten Bauvorhaben auf der Baufläche B und hinsichtlich des Vorhabens auf der Baufläche A räumt sie damit sinngemäß ein, dass der Bebauungsplan Nr. 2 den Klägern keinen Anspruch auf eine Wohnhausbebauung vermittelt. Für diese drei Bauvoranfragen ist deshalb die geltend gemachte Verletzung des Anspruchs auf rechtliches Gehör nach dem eigenen Vortrag der Beschwerde unerheblich.
Dass die Baufläche B-1, auf der das vierte Wohnhaus errichtet werden soll, im Bebauungsplan Nr. 2 für eine Wohnbebauung vorgesehen ist, macht die Beschwerde dagegen nicht nur geltend. Insoweit dürften ihre Ausführungen auch sachlich richtig sein. Nach den der Beschwerdebegründung beigefügten Ablichtungen und nach der zu den Beiakten gehörenden Zeichnung des Bebauungsplans Nr. 2 scheint die festgesetzte Garagenzeile bereits vor der Baufläche B-1 zu enden und diese grundsätzlich als Wohnbaufläche festgesetzt zu sein. Als Rechtsgrundlage für den begehrten Bauvorbescheid käme die Festsetzung einer Wohnbaufläche im Bebauungsplan allerdings gleichwohl nur in Betracht, wenn der Plan entgegen der Rechtsauffassung des Berufungsgerichts nicht (insgesamt) funktionslos wäre. Davon ist jedoch auszugehen. Die zur Annahme der Funktionslosigkeit des Bebauungsplans Nr. 2 erhobene Gehörsrüge greift nicht, weil sie nicht hinreichend substantiiert ist.
Das Berufungsgericht begründet seine Rechtsauffassung, dass der Bebauungsplan Nr. 2 funktionslos sei, mit den unterschiedlichen Planungskonzeptionen der Bebauungspläne Nr. 10 und Nr. 2; angesichts der unterschiedlichen Planungskonzeptionen sei eine Trennbarkeit und Realisierung der Festsetzungen des Bebauungsplans Nr. 2 im Bereich des "Dreistücks" ausgeschlossen (Berufungsurteil S. 12). Demgegenüber legt die Beschwerde dar, dass der Bebauungsplan Nr. 2 im Bereich des "Dreistücks" im Anschluss an die bisher "realisierten Flächen" im Nordwesten problemlos realisiert werden könne. Damit beschränkt sie sich jedoch sinngemäß auf den Vortrag, dass eine Bebauung des Bereichs des "Dreistücks" nach den Festsetzungen des Bebauungsplans Nr. 2 trotz der von seinen Festsetzungen abweichenden Bebauung der Nachbarschaft noch tatsächlich möglich sei. Wie die Beigeladene zu Recht ausführt (Beschwerdeerwiderung S. 36), greift die Beschwerde die eigentliche Begründung des Berufungsgerichts, dass die Plankonzeptionen miteinander unvereinbar seien, nicht an. Die Beschwerde verkennt somit den Kern der Argumentation des Berufungsgerichts und geht deshalb ins Leere. Daher kann die Gehörsrüge - unabhängig von der zwischen den Beteiligten streitigen Frage, ob das Berufungsgericht in der mündlichen Verhandlung das Bestehen einer städtebaulichen Funktion des Bebauungsplans Nr. 2 angesprochen hat oder nicht - keinen Erfolg haben.
e) Unbegründet ist schließlich die Rüge, das Berufungsgericht habe seine Begründungspflicht verletzt, indem es einen Anspruch aus § 35 Abs. 2 BauGB allein mit der Begründung abgelehnt habe, die vorgesehene Bebauung sei jedenfalls deshalb unzulässig, weil sie eine siedlungsstrukturell zu missbilligende Ausweitung in den Außenbereich darstellen würde. In welchem Umfang ein Gerichtsurteil zu begründen ist, hängt von vielen Umständen ab. Im vorliegenden Verfahren war die Frage, ob die Vorhaben der Kläger nach § 35 BauGB genehmigungsfähig seien, ein Randproblem. Wie die umfangreichen Schriftsätze der Beteiligten zeigen, wurde vor allem um die Anwendbarkeit der Bebauungspläne Nr. 10 und Nr. 2 gestritten, in zweiter Linie um die Frage, ob ein Anspruch aus § 34 BauGB bestehe. Schon daraus rechtfertigte sich, auf längere Ausführungen zu § 35 BauGB zu verzichten. Das Berufungsgericht hat sich ferner nicht auf den oben erwähnten Satz beschränkt, sondern hat noch eine Entscheidung des Bundesverwaltungsgerichts zitiert und damit gleichsam ergänzend auf die in ihr enthaltenen Entscheidungsgründe Bezug genommen. Die anwaltlich vertretenen Kläger wurden deshalb durch die Begründung des Berufungsgerichts durchaus in die Lage versetzt zu erkennen, weshalb nach seiner Auffassung ein Anspruch auf der Grundlage des § 35 Abs. 2 BauGB nicht besteht. Sollten die Kläger dagegen die Begründung des Berufungsgerichts in der Sache für fehlerhaft halten, so hätten sie dies nur mit einer materiellrechtlichen Rüge geltend machen können.
4. Die Kostenentscheidung folgt aus § 154 Abs. 2, § 159 Satz 1 VwGO, § 100 Abs. 1 ZPO.
Die Streitwertfestsetzung beruht auf § 13 Abs. 1 Satz 1, § 14 Abs. 1 Satz 1, Abs. 3 GKG.
Der Streitwert für das Beschwerdeverfahren ergibt sich aus dem Interesse der Kläger an der Erteilung eines Bauvorbescheids für (noch) vier Einfamilienhäuser; diesen setzt der Senat mit 60 000 € an. Dabei geht der Senat in Anlehnung an den Streitwertkatalog für die Verwaltungsgerichtsbarkeit - Fassung 1996 - (NVwZ 1996, 563), der für eine Klage auf Erteilung einer Baugenehmigung für ein Einfamilienhaus im Regelfall einen Streitwert von 30 000 DM vorschlägt (Nr. 7.1.1), nunmehr von einem Streitwert von 15 000 € aus. Für die Klage wegen eines Bauvorbescheids empfiehlt der Katalog mindestens die Hälfte des Ansatzes für das Verfahren wegen einer Baugenehmigung. Wird in einem Vorbescheidsverfahren über die prinzipielle Frage der Bebaubarkeit eines Grundstücks gestritten, so kann der Streitwert noch höher anzusetzen sein; auszugehen ist dann von der mutmaßlichen Bodenwertsteigerung (BVerwG, Beschluss vom 29. Mai 2001 - BVerwG 4 B 33.01 - ZfBR 2001, 486; Beschluss vom 24. April 1995 - BVerwG 4 B 76.95 - Buchholz 360 § 13 GKG Nr. 86). Unter Berücksichtigung dieser Grundsätze und wegen des Fehlens von Angaben zur Bodenwertsteigerung für die hier betroffenen Grundstücke erscheint der Ansatz des Berufungsgerichts, im vorliegenden Verfahren wegen der Erteilung von Bauvorbescheiden auf den Streitwert für das Verfahren auf Erteilung einer Baugenehmigung zurückzugreifen, als angemessen.
Der Streitwert ist um 6 000 € zu erhöhen wegen des Antrags auf Zulassung der Revision hinsichtlich der (teilweisen) Einstellung des Verfahrens durch das Berufungsgericht. Hierbei orientiert sich der Senat an den auf diesen Verfahrensteil entfallenden Mehrkosten des Berufungsverfahrens, die er auf den genannten Betrag schätzt. Streitwertmäßig unberücksichtigt bleibt dagegen der Zulassungsantrag wegen der vermeintlichen Abweisung der Klage, soweit sie in erster Instanz erfolgreich war. Insoweit handelt es sich um ein Scheingefecht, das nur durch eine unzutreffende Formulierung im Berufungsurteil ausgelöst worden ist.